幹式螺杆（gǎn）真空泵是一種先進的真空獲得設備，通過兩（liǎng）個相（xiàng）互齧合（hé）但不接觸的螺杆轉子在泵腔內同步反向
旋轉來產生真空。與傳統油（yóu）封式真空泵（bèng）不同，幹式螺杆真空泵無需工作液，能夠提供潔淨無汙染的真空
環境，因此在半導體（tǐ）、光伏、化工和製藥等對（duì）潔（jié）淨度（dù）要求極高的領域得到了廣泛應用。
一、基本工作原理
幹式螺杆真空泵是一種先（xiān）進的真空獲得設備，通過兩個相互齧合但不接觸的螺杆轉子在泵腔內同步反向
旋轉（zhuǎn）來產生真空（kōng）。與傳統油封式真空泵不同，幹式螺杆真空泵無需工作液，能夠提供潔淨無汙染的真空
環境（jìng），因此在半導體、光（guāng）伏、化工和製藥等對潔淨度要求極高的領域（yù）得到了廣泛（fàn）應用。
二、主要技術特點
1、完（wán）全幹式運行：無需任何工作液，避免了油蒸氣汙染（rǎn），適合潔淨環境
2、抽速範圍寬（kuān）：單級可實現10?至10?² Pa的寬範圍真空
3、耐腐（fǔ）蝕設計：可采用特殊塗（tú）層和材料（liào）處理，適應腐蝕性氣體環境
4、易於維護：結構相對簡（jiǎn）單，維護周期長，運行成本低
5、低振動（dòng）低噪音：動態平（píng）衡良好的（de）轉子設計確保運（yùn）行平穩
三、與傳統真空泵的對比優勢
對比維度
幹式螺杆真空泵
油封式旋片泵（bèng）
羅茨真空泵
潔淨度
極（jí）高，無油汙染
有油蒸氣汙染風險
較高，但可能有微量潤（rùn）滑劑
維護需求
低
高（需定期換油
中等
耐腐蝕性
可通過（guò）材料升級增強（qiáng）
較差
中等
極限真空
中高真空(10?² Pa)
中真空(10?¹ Pa)
需與前級泵組合使用
能耗效率
較高
較低
高
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明專利（lì）4項）。
